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睿恩自动化解决了压力传感器批量生产的瓶颈问题
MEMS芯片
高温低漂移:利用SOI片进行MEMS加工,可以用于200oC。应用：家电（太阳能热水器，压力锅，壁挂炉等），汽车电子,工业等领域。
超低微压：梁-膜-岛结构,改善了微压力测量的非线性和灵敏度。应用:呼吸机，洗衣机，洗碗机，太阳能热 水器（液位）
标准工艺：硅片进行MEMS加工,背大膜的KOH腐蚀，最后硅-玻璃键合，应用:电子血压计，高度计，家用气象计。
超小面积：利用带图形硅硅键合的片进行MEMS加工，可大
幅度减小器件面积,降低成本。应用:家电(空调),汽车电子（胎压）工业等领域。
睿恩自动化对MEMS 芯片专用测试设备的自主研发, 解决了智能单芯片封装压力传感器批量生产的瓶颈问题